電子束輻射法脫硫是一種脫硫新工藝，經過20多年的研究開發，已從小試、中試和工業示范逐步走向工業化。其主要特點是：過程為干法，不產生廢水廢渣；能同時脫硫脫硝，可達到90%以上的脫硫率和80%以上的脫硝率；系統簡單，操作方便，過程易于控制；對于不同含硫量的煙氣和煙氣量的變化有較好的適應性和負荷跟蹤性；副產品為硫酸銨和硝酸銨混合物，可用作化肥。

鍋爐煙氣經除塵后，進入冷卻塔，在塔中由噴霧水冷卻到65～70 ℃。在煙氣進入反應器之前，按化學計量數注入相應的氨氣。在反應器內，煙氣經受高能電子束照射，煙氣中的N2、O2和水蒸氣等發生輻射反應，生成大量的離子、自由基、原子、電子和各種激發態的原子、分子等活性物質，它們將煙氣中的SO2和NOX氧化為SO3和NO2。這些高價的硫氧化物和氮氧化物與水蒸氣反應生成霧狀的硫酸和硝酸，這些酸再與事先注入反應器的氨反應，生成硫酸銨和硝酸銨。最后用靜電除塵器收集氣溶膠狀的硫酸銨和硝酸銨，凈化后的煙氣經煙囪排放，副產品經造粒處理后可作化肥銷售。